正常な半導体やメモリチップなどが何らかの原因で一時的に誤動作すること。回路の損傷などの致命的なダメージが原因で発生する「ハードエラー」とは異なり、半導体自体に損傷はない。そのため、コンピューターの再起動やデータの書き直しによって正常な状態に戻る。
ソフトエラーの主な原因は放射線である。放射線に含まれる粒子が半導体に衝突すると、半導体内部で荷電粒子が発生し、それがメモリセルの保持データを乱すことでソフトエラーが発生する。
ソフトエラーが大きな問題として指摘されるようになったのは、1970年代後半に、製品のパッケージから放射されるアルファ線によるソフトエラーが確認されてからのことである。また、1990年代後半からは、ソフトエラーの原因として宇宙線中性子が注目されている。これは、半導体の微細化にともないメモリセルが保持する電荷量が減少したことで、宇宙線中性子によるごくわずかな影響でもソフトエラーが発生してしまうようになったためである。現在ではソフトエラー対策として、エラーの検出・訂正機能などが備わった製品も発売されている。
